---

Mikroelektromekanik sistemlerin üretimi, dizaynı ve uygulamaları

MEMS Nedir?

Mikro-mekanik ve mikro-elektromekanik sistemler (MEMS) teknolojisi mikrometre ölçeğinde kompleks yapılar, cihazlar ve sistemlerin üretiminde kullanılabilir. İlk önceleri mikro-mekanik teknikler direk olarak entegre devre (IC) endüstrisinden ödünç olarak alındı, fakat şimdi birçok benzersiz özel MEMS mikro-mekanik yöntemler kullanılıyor. MEMS’de, çok çeşitli uyum sağlama mekanizmaları gerçek işaretleri bir enerji formundan diğer enerji formuna geçirmekte kullanılabilmekte, bu sayede bir çok farklı mikro-sensörler, mikro-devindiriciler ve mikro-sistemler yapılabilmektedir. Oysa sadece kısmi standardizasyon ve bir MEMS CAD teknolojisinin temelini olgunlaştırmasına rağmen kompleks ve sofistikte MEMS’ler üretilmektedir. IC ve MEMS’in entegrasyonu performansı artırabilir, fakat daha yüksek üretim maliyetlerinde ve daha kompleks ve uzun üretim süresinde. MEMS’in etkili potansiyeli için artan beğenisi çeşitli yeni MEMS ürünlerin ticarileşmesine yol açtı. Ayrıca MEMS uzay keşifi için çok uygundur ve Mars ve ilerisi için uzay istasyonu çalışmalarında büyük rol oynayacaktır.

Nasıl üretilir:

MEMS teknolojisinde üç temel blok yapı vardır; substrat üzerinde ince filmi biriktirerek (deposit), örneklenmiş maskeyi photolithograpic resim kullanarak filmlere uygulamak ve asit uygulayarak (etch) filmi maskeye uygun olarak oymak. Genel olarak MEMS süreci bu operasyonlar sırası ile şekillenerek gerçek cihazlar oluşturulur. Aşağıda bu işlemleri sırasıyla inceleyeceğiz; deposition, lithography ve etching

1. Biriktirme Prosesi (Deposition Processes)
1.1 . MEMS İnce Film Biriktirme Prosesi (Thin Film Deposition Processes)
MEMS prosesleri içerisinde en temel işlem meterialin ince film biriktirmesi yeteneğidir. Bu yazıda ince filmin herhangi bir yerde birkaç nanometre ile yaşlaşk 100 mikrometre arasında bir kalınlığa sahip olmasını farz ediyoruz. Bu film daha sonra Lithography ve Ething bölümlerinde anlatılan asitle yakma işlemlerine tabi tutulmaktadır.
MEMS deposition (Biriktirme) iki grupta incelenebilir:
1. Depositions (Biriktirme) kimyasal reaksiyonlardan meydana gelmektedir:
o Chemical Vapor Deposition (CVD) (Kimyasal Buhar Biriktirmesi)
o Electrodeposition
o Epitaxy
o Thermal oxidation

---