Elektrotekno.com Ana Sayfa || Tezler, Makaleler vb.

Mikroelektromekanik sistemlerin üretimi, dizaynı ve uygulamaları

Açıklama:
Elektrik, Elektronik, Haberleşme ve Otomasyon konularının ağırlıklı olarak konuşulduğu, tartışıldığı ve bilgi paylaşımı yapıldığı forumumuza hoşgeldiniz.
Şu an E-kütüphane (Elektrik, elektronik ve haberleşme konularında) kategorisi içerisindeki Tezler, Makaleler vb. forumunda bulunuyorsunuz.
Bu sayfada üyelerimizin "Haberleşme Sistemlerinde Kullanılan Temel Kodlama ve Sıkıştırma Teknikleri" konusundaki problem, görüş ve önerileri okuyabilir ayrıca konu hakkındaki doküman, resim, proje, devre ve programlara ücretsiz olarak ulaşabilirsiniz. Üye olduktan sonra sizler de konu hakkında sorular sorabilir ya da yorum ve paylaşım yaparak birikimlerinizi aktarabilirsiniz.
Forumdan tam olarak yararlanabilmek için üye olmayı unutmayınız!

Önceki başlık || Sonraki başlık

Kayıt: 14 Şub 2008
Mesajlar: 2

Offline

atoktas

Tarih: 16 02 2008 15:55

Mikroelektromekanik sistemlerin üretimi, dizaynı ve uygulamaları

MEMS Nedir?

Mikro-mekanik ve mikro-elektromekanik sistemler (MEMS) teknolojisi mikrometre ölçeğinde kompleks yapılar, cihazlar ve sistemlerin üretiminde kullanılabilir. İlk önceleri mikro-mekanik teknikler direk olarak entegre devre (IC) endüstrisinden ödünç olarak alındı, fakat şimdi birçok benzersiz özel MEMS mikro-mekanik yöntemler kullanılıyor. MEMS’de, çok çeşitli uyum sağlama mekanizmaları gerçek işaretleri bir enerji formundan diğer enerji formuna geçirmekte kullanılabilmekte, bu sayede bir çok farklı mikro-sensörler, mikro-devindiriciler ve mikro-sistemler yapılabilmektedir. Oysa sadece kısmi standardizasyon ve bir MEMS CAD teknolojisinin temelini olgunlaştırmasına rağmen kompleks ve sofistikte MEMS’ler üretilmektedir. IC ve MEMS’in entegrasyonu performansı artırabilir, fakat daha yüksek üretim maliyetlerinde ve daha kompleks ve uzun üretim süresinde. MEMS’in etkili potansiyeli için artan beğenisi çeşitli yeni MEMS ürünlerin ticarileşmesine yol açtı. Ayrıca MEMS uzay keşifi için çok uygundur ve Mars ve ilerisi için uzay istasyonu çalışmalarında büyük rol oynayacaktır.

Nasıl üretilir:

MEMS teknolojisinde üç temel blok yapı vardır; substrat üzerinde ince filmi biriktirerek (deposit), örneklenmiş maskeyi photolithograpic resim kullanarak filmlere uygulamak ve asit uygulayarak (etch) filmi maskeye uygun olarak oymak. Genel olarak MEMS süreci bu operasyonlar sırası ile şekillenerek gerçek cihazlar oluşturulur. Aşağıda bu işlemleri sırasıyla inceleyeceğiz; deposition, lithography ve etching

1. Biriktirme Prosesi (Deposition Processes)
1.1 . MEMS İnce Film Biriktirme Prosesi (Thin Film Deposition Processes)
MEMS prosesleri içerisinde en temel işlem meterialin ince film biriktirmesi yeteneğidir. Bu yazıda ince filmin herhangi bir yerde birkaç nanometre ile yaşlaşk 100 mikrometre arasında bir kalınlığa sahip olmasını farz ediyoruz. Bu film daha sonra Lithography ve Ething bölümlerinde anlatılan asitle yakma işlemlerine tabi tutulmaktadır.
MEMS deposition (Biriktirme) iki grupta incelenebilir:
1. Depositions (Biriktirme) kimyasal reaksiyonlardan meydana gelmektedir:
o Chemical Vapor Deposition (CVD) (Kimyasal Buhar Biriktirmesi)
o Electrodeposition
o Epitaxy
o Thermal oxidation

6 Kullanıcı bu konu için decimal41 arkadaşımıza teşekkür ettiler

Mikroelektromekanik sistemlerin üretimi, dizaynı ve uygulamaları

Benzer Konular

- yüksek frekanslı mikrodalga amplifikatör dizaynı

- plc ile elektropnomatik sistemlerin kontrolü
- microbilgisayar uygulamaları 2
- ktü - elektronik lab-1 - endüstriyel kontrol uygulamaları
- operasyonel amplifikatör temel karakteristikleri ve uygulamaları deneyi - ktü
- megep - lojik entegre uygulamaları
- elektrik tesislerinde topraklamalar yönetmeliği ve uygulamaları - sunum
- uçuş similayonlarının kokpit kısımları için test kartı üretimi - staj raporu
- Aydınlatma Teknikleri Ve Uygulamaları

- Manyetik Alan ve elektrik üretimi animasyonu

- sistem programlama ve ileri c uygulamaları - kaan aslan - 05.04.2008

Sitemize üyelik ve içeriğin indirilmesi tamamen ücretsizdir. Sitemizde paylaşılan tüm dokümanlar (Tezler, makaleler, ders notları, sınav soru cevaplar, projeler) paylaşımcıların bireysel çalışmaları olup telif hakları kendilerine aittir ya da açık bir şekilde kamusal alana yerleştirilmiş dokümanların birer kopyalarıdır. Kişilerin bireysel çalışmalarını sitemizde yüklemesinde, sitemizde paylaşıma teşvik eden puanlama sisteminin de etkisi büyüktür. Bunlara rağmen hala size ait olan ve burada bulunmasına izin vermediğiniz dokümanlar varsa iletişim bölümünden yöneticilere bildirmeniz durumunda derhal silineceklerdir.